세계 최초 '반도체 기술' 유출...삼성 자회사 기술 중국에 넘겨

뉴삼성전자 자회사인 세메스가 세계 최초로 개발한 초임계 반도체 세정장비 핵심 기술을 해외 유출한 전직 연구원들이 재판에 넘겨졌다.수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(부장검사 박진성)는 16일 수원지검 청사에서 출입기자단을 대상으로 브리핑을 열고 산업기술보호법위반, 부정경쟁방지법위반(영업비밀국외누설 등) 등 위반 혐의로 세메스 전 연구원 A(47)씨 등 2명과 기술유출 브로커 B씨, 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명을 구속기소 했다고 밝혔다. 또 같은 혐의로 세메스 협력사 직원 1명을 불구속기소 했다. A씨는 2016년 세메스를 그만두고 나와 2019년 다른 회사를 설립한 뒤 2021년 6월 협력사 대표 C씨로부터 세메스가 세계 최초로 개발 및 양산에 성공한 초임계 반도체 세정장비의 핵심 도면을 부정취득한 뒤, 기술유출 브로커 B씨를 통해 중국에 유출 혐의로 기소됐다. C씨는 A씨에게 초임계 도면을 넘겨주는 대가로 38억원 상당의 투자를 받고, 8억원을 입금받은 것으로 조사됐다. 브로커 B씨는 기술 유출 다리 역할을 하며 16억원 가량 현금으로 받은 것으로 파악됐다. 초임계 세정 장비는 약액 등으로 반도체 웨이퍼를 세정한 뒤 웨이퍼를 건조시키는 단계에서 초임계 상태의 이산화탄소를 이용해 웨이퍼를 건조하는 장비로서 세메스가 세계 최초로 개발 및 상용화에 성공한 차세대 장비다.기존 습식 세정장비의 회전식 건조로 인해 생기는 패턴 무너짐을 막기 위해 개발한 것으로, 손상을 최소화해 초미세 반도체의 불량률을 줄이는 핵심 기술로 국가핵심기술로도 지정돼있다. 세메스는 이러한 초임계 기술개발을 위해 약 350억원의 연구비를 투자했던 것으로 알려졌다.이번 기술유출로 최소 같은 금액 이상의 직접 손해가 발생한데다, 기술경쟁력 저하로 주요 거래처 수주가 감소하는 것을 고려하면 연간 400억원 이상의 손해가 발생할 우려가 있다는 것이 검찰 측 설명이다.A씨 등은 지난해 9월께 중국 민간 반도체 업체에 초임계 세정장비 10대(대당 238억원)를 납품한 뒤 기술을 이전하기로 프로젝트 협약을 맺기도 했으나, 검찰 수사가 진행되며 실제 장비 납품은 이뤄지지 않은 것으로 조사됐다. A씨는 또 함께 구속기소 된 세메스 전 연구원과 공모해 2021년 5~7월 세메스가 일본에 이어 세계 2번째로 개발에 성공한 매엽식 인산 세정장비 기술 정보를 자신이 운영하는 회사 직원들에게 누설한 혐의도 있다.인산 세정장비는 인산 약액을 사용해 표면에 실리카 등이 남아있는 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비다.이 밖에도 A씨는 2019년 7월~2022년 10월 허위 세금계산서를 발급하고, 자신의 명의로 설립한 페이퍼컴퍼니를 거래에 끼워 넣는 등 수법으로 자신의 회사 자금 27억원을 횡령한 혐의도 받는다. A씨는 지난해 5월 세메스가 보유한 또 다른 반도체 세정장비 기술을 이용해 같은 스펙의 장비 14대를 만든 뒤 도면 등 제작 기술과 장비를 함께 중국에 유출한 혐의로도 현재 재판을 받고 있다. A씨 등은 이 같은 기술 유출로 2019년 12월부터 2022년 7월까지 총 20대의 세정장비 등을 수출해 약 1193억원의 이득을 취득한 것으로 조사됐다.검찰은 피고인들의 범죄수입을 환수하기 위해 A씨 업체에 있던 습식 세정장비 6개를 압류하고, 예금채권과 부동산 가압류 등을 통해 535억원 상당의 재산을 보전 조치했다. 박진성 부장검사는 "앞으로도 건전한 기술 개발 풍토를 해치고 공정한 시장 경쟁 질서를 해치는 산업기술 및 영업비밀 침해행위를 엄단하겠다"면서 "또 재발 방지를 위해 범죄수익을 끝까지 추적해 환수하겠다"고 말했다.