첨단 EUV 장비, 국내 도입 쉬워진다…반도체 규제 11개 개선

정부가 차세대 첨단장비를 선점하기 위해 첨단 극자외선(EUV) 장비의 국내 도입 허용 기준을 완화하는 등 반도체 산업 관련 규제 개선 작업에 속도를 낸다. 산업통상자원부는 반도체 제조공정에 쓰이는 고압가스의 안전 규제와 관련된 과제 11개를 개선한다고 12일 밝혔다. 우선, 차세대 EUV 장비를 국내 도입이 가능하도록 허용 기준을 완화한다. 현재 신소재 배관에 대한 고압가스법령 내 사용 규정이 없어 개발 완료 예정인 신소재 재질의 배관을 사용한 차세대 EUV 장비의 국내 도입이 불가능한 상황이다. 산업부는 미국 기계학회에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관 사용이 가능하도록 안전성을 검토한 뒤, 가스 상세기준을 개정해 국내 도입이 가능하도록 할 예정이다. 고압가스 폭발 시 인근 보호시설과 인명 보호를 위한 방호벽 관련 다양한 설치 기준도 허용한다. 현재 반도체 공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층 건물 구조로 돼 있다. 깊이 묻어야 하는 기존 방호벽 기둥의 고정방법으로는 설치가 어렵다. 방호벽도 두꺼운 콘크리트 재질만 설치해야 한다. 산업부는 가스 상세 기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우 다양한 기둥 설치 방법을 허용하기로 했다. 또, 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전 수준이면 강판제 등 다양한 재질을 허용하도록 할 방침이다. 아울러, 가연성 고압가스를 저장하는 실린더 캐비닛에 대한 기준도 개선한다. 현행 규제에 따라 저장용 실린더 캐비닛을 설치할 때 설치 장소 지붕을 가벼운 불연 재료만 사용해야 한다. 복층으로 공장을 증설할 때, 가벼운 지붕은 상층의 바닥이 돼 하중을 견디기 어려워 해당 캐비닛을 공장에 설치하는 게 쉽지 않다. 산업부는 안전성 검증 후, 지붕을 가벼운 불연 재료로 사용하게 하는 의무 규정을 면제하는 방안을 검토 중이다. 박일준 산업부 2차관은 "반도체 안전 규제 관련 11개 과제 중 안전성이 확보되면서도 기업 활동을 촉진할 수 있는 고압가스 관련 반도체 생산장비와 저장설비 등에 대한 7개 과제를 개선할 계획"이라며 "나머지 4개 과제는 안전성을 확인하고 타 법령과의 연계 가능성 등을 고려해 개선 방안을 마련할 것"이라고 밝혔다. 이어 "혁신 규제 과제를 신속히 추진해 반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 하겠다"고 말했다.