반도체用 초순수 '국내산 시대' 서막...기후부 "미·일 의존도 줄인다"

기후에너지환경부가 초순수(고순도 공업용수)의 설비 기술을 민간으로 이전했다고 18일 밝혔다. 초순수는 반도체를 만드는 데 사용되는데, 그간 외국기업의 기술력에 의존해 왔다. 수중 불순물을 극미량 수준까지 제거한 물이 초순수다. 반도체 표면의 오염물질을 없애는 공정에서 필수적으로 쓰인다. 기후부는 이날 경북 SK실트론 구미사업장에서 초순수 생산 국산화 기술개발 사업의 성과물인 '초순수 실증설비 기술이전을 위한 성과 활용 협약식'을 개최했다. 초순수 생산에는 고난도의 수처리 기술이 요구된다. 수중의 이온물질 농도를 1ppt(1조분의 1) 이하, 용존산소 등 기체 농도를 1ppb(10억분의 1) 이하 수준으로 관리해야 한다. 그동안 미국과 일본 등 해외 기업이 생산기술을 주도해 왔다. 기후부는 기술 의존도를 낮추고 국내 물산업 경쟁력을 강화하기 위한 목적으로, 지난 2021년부터 초순수 생산기술 국산화 사업을 추진해 왔다. 이번 설비에는 초순수 제조의 핵심 공정에 국내 기업이 개발한 주요 장치 및 소재를 적용했다. 장기간 운영 실적을 확보했다는 평가를 받는다. ▲자외선 산화장치를 통한 유기물 제거 ▲탈기막을 활용한 용존산소 제거 ▲이온교환수지를 통한 이온 제거 및 수질 고도화 등이다. 이는 국내 설계 기술로 생산된 초순수가 실제 반도체 제조공정에 공급되는 최초 사례다. 국내 기업의 현장 적용 실적 확보와 함께, 세계 초순수 시장 진입 기반을 마련했다는 점에서 의미가 크다. 반도체 칩과 전자회로를 제작하기 위해 사용하는 얇은 원형의 실리콘 판인 '웨이퍼'는 핵심 소재다. 극미량 불순물까지 엄격하게 관리되는 초고순도 공업용수가 필수적으로 요구된다. 기후부의 김지영 물이용정책관은 "이번 기술이전은 초순수 기술의 국산화를 넘어 실제 산업현장 적용으로 이어진 중요한 성과"라며 "반도체 등 첨단산업의 대규모 투자가 초순수 등 국내 물산업 발전으로 이어질 것"이라고 말했다.